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超純水：既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。這需要用到水處理技術。
膜法超純水制備工藝流程:原水—超濾—反滲透—EDI—超純水
在膜法工藝中，超濾，微濾替代澄清，石英砂過濾器，活性炭過濾器，除去水中的懸浮物膠體和有機物，降低濁度，SDI，COD等，可以實現反滲透裝置對污水回用的安全，運行，以反滲透替代離子交換器脫鹽，進一步除去有機物，膠體，細等雜志，可以保證反滲透出水滿足EDI進水的要求，以EDI代替混床深度脫鹽，利用電而不是酸堿對樹脂再生，避免了二次污染。
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